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Zimmermann, Thomas
High-rate growth of hydrogenated amorphous and microcrystalline silicon for thin-film silicon solar cells using dynamic very-high frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition
Schriften des Forschungszentrums Jülich . Reihe Energie & Umwelt / Energy & Environment 183
x, 126 S., 2013, ISBN 978-3-89336-892-1

Inhaltsverzeichnis

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